CS-4探針臺造型小巧，測量精度，操作方便，符合人機工程學。

CS-4探針臺的適用范圍：
主要應用于半導體行業以及光電行業的測試。廣泛應用于復雜、速器件的精密電氣測量的研發。

CS-4探針臺的技術參數：

規格
Chuck（可選）		4" 或6" 不銹鋼，真空吸附型，獨立開關控制
Chuck X-Y軸行程，精度		4" x4"，10um
Chuck 旋轉角度		0~360 度
Chuck 旋轉角度微調精度		0.01°
Chuck快速升降（選配）		4mm
Chuck微調升降（選配）		4mm ，1um精度
Chuck 平整度		5um
針座平臺		C型設計，可放置8個BT 型針座，可擴展為O型平臺
針座平臺平整度		5 um
顯微鏡Z軸行程，精度		2"，細調精度0.1um
需求
電力	220 VAC, 60Hz
真空	-250 mmHg, 7 liter/min
尺寸
320mm寬*320mm長*400mm（帶顯微鏡）
重 20 Kg（帶顯微鏡）
可選附件
激光切割
加熱臺
防震桌
顯微鏡暗場 / DIC/Normarski 檢測
光強/波長測試接口部件
射頻測試探頭和線纜
有源探頭
低電流/電容測試
壓測試
CCD視頻系統
液晶漏電分析套裝
屏蔽箱
鍍金Chuck

CS-4探針臺的工作環境：
●探針臺應放在穩定可靠的臺面上，好是具有防震裝置的工作臺上，避免在溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環境下使用。
●使用佳溫度范圍為5℃～40℃，佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時門窗盡可能關閉，使室內達到除濕效果。
●使用電源：220±10%，50~60Hz

CS-4探針臺能夠勝任的測試有：

序號	根據測試樣品分類	序號	根據應用分類
1	晶圓測試	1	射頻測試
2	LED測試	2	溫環境測試
3	功率器件測試	3	低電流（100fA 級）測試
4	MEMS測試	4	I-v/c-v/p-iv測試
5	PCB測試	5	壓，大電流測試
6	液晶面板測試	6	磁場環境測試
7	太陽能電池片測試	7	輻射環境測試
8	材料表面電阻率測試	9	積分球測試

CS-4探針臺的部件名稱：

1、CCD轉接口	6、鍍鉻U型平臺	11、顯微鏡調焦架	16、X平移旋鈕
2、顯微鏡倍率調節旋鈕	7、顯微鏡架固定座	12、環形光源	17、Y平移旋鈕
3、顯微鏡調焦旋鈕	8、探針臺底板	13、4寸樣品臺（卡盤）	18、氣孔吸附開關
4、顯微鏡支撐架	9、底板支柱	14、樣品臺旋轉微調
5、固定塊	10、顯微鏡目鏡20X	15、U型平臺支柱

CS-4探針臺的安裝說明：
1、樣品臺安裝：在樣品臺X平移上找到樣品臺組件螺孔，選擇合適螺桿進行安裝； 2、顯微鏡支撐架安裝：選擇合適位置用固定塊將不銹鋼管固定在起（如下圖），固定好之后放入固定座，并用頂絲頂住； 3、顯微鏡調焦架安裝： 4、顯微鏡安裝： 5、光源安裝：將緊固螺絲擰松，將環形光源安裝在顯微鏡下方，緊固螺絲。 6、探針夾具安裝
● 使用配套螺絲將夾具傾仰安裝固定到探針座上，可以根據需要進行上下調節位置
● 將探針座擺放在U型平臺上固定好，擰松傾仰夾頭4個螺絲，把夾具金屬桿放入限位孔內，調整合適位置后擰緊螺絲
● 用鑷子夾住探針中部，將彈簧夾具的彈簧壓縮至探針固定孔露出，將探針插入固定孔，調整好位置后放松彈簧（注意：操作過程中不要觸碰到針尖，否則針尖會變彎）

CS-4探針臺的相關配件：
1、體式顯微鏡 （可選配倍率晶相顯微鏡） 產品參數和點
1、鑒別力，視場范圍大，景深長。
2、工作距離長至115mm。
3、左右目鏡屈光度可調正負5度，能滿足不同視力的操作者觀察。
4、能隨意調節手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習慣，更可以鎖定手輪，方便定倍觀察。
5、本顯微鏡為連續變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍0.8X-5X。
6、雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調節范圍52-75mm.
產品優點：
產品造型比較新穎
機械性優越，操作舒適度。
光學系統鑒別力達300線對以上，符合際標準
長的工作距離位于內同行之首
獨有的3A設計
創見性人機學設計，產品細節考慮全面。
3A性：
密封性-------防塵,防油\防水污染
此種接口密封性設計能安全防塵\防油\防水或其它污染-----這就減少了常規的維護,從而降低了總的費用.
防霉性------使其同樣適用于悶熱或潮濕的環境
此獨有的設計保證了顯微鏡在溫或是潮濕下都能安然無恙
防靜電------防靜電設計可以釋放顯微鏡內不斷產生的靜電,防止標本被損壞,保證提產量和降低產品成本
應用領域：
教學示范，生物工程,IT產業檢測，材料分析等領域。
2、針座和探針夾具（可選）

針座規格	CB-80型	CB-100型	CB-40-T型	CB-40型
尺寸	94mmW× 97mmD× 95mmH	112mmW× 86mmD× 108mmH	73mmW ×48mmD× 68mmH	38mmW ×62mmD× 45mmH
重量	680克	650克	300克	200 克
精度	0.7 Micron	0.7 Micron	2 Micron	10 Micron
牙具	100牙/寸	牙具100牙/寸	80牙/寸	40牙/寸
X-Y-Z線性行程	13mm×13mm×13mm	13mm×13mm×13mm	13mm×13mm×13mm	13mm×13mm×13mm

3、JVC模擬CCD 點
●1/3寸CCD,44萬像素
●535電視線的水平分辨率
●0.7Lux的低照度（F1.2，25%，AGC開啟）
●50dB的信噪比（AGC OFF）
●內置10bit 數字圖像處理器
Winfast XP100視頻采集卡 性
●可選擇的影像來源信號
可以提供不同的輸入端子，使其能夠連接不同的影像
輸出設備，如錄放影機、家庭攝影機、雷射光碟機、
影音光碟機及CCD攝影機，提供全方位的解決方案。
●可編輯剪接影像片段
可以從輸入的影像來源做即時的動態捕捉或靜態補捉，并存成電腦可以接受并編輯的AVI電影檔或般的圖形檔，再透過類似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相關應用軟體，便可加入各種效與剪接編輯。
4、探針夾具
● 彈簧式
使用便利，可用于較短時間的大電流（過1安培）穩定性好，采用進口同軸線纜，精度漏電為10PA，輸出BNC（male）接頭 ● 管狀式
測量微弱電流用，同時可接壓，采用進口triax線纜，前端管裝屏蔽結構，漏電小于100FA，壓可耐1000V（需要配合屏蔽箱） 5、探針
美GGB

型號	針尖直徑	針桿直徑	針長	材質	根/盒
軟針類:適用于集成電路內部線路點針
T-4-5	0.2 微米	0.51mm	51mm	硬鎢材質	5
	0.2微米直徑的針須焊接于鎳質針桿上
T-4-10	0.7 微米	0.51mm	51mm	硬鎢材質	5
	0.7 微米針須焊接于鎳質針桿上
硬針類:適用于集成電路電極點針
ST-20-0.5	1 微米	0.51mm	38mm	硬鎢材質	5
ST-20-1.0	2 微米	0.51mm	38mm	硬鎢材質	5
ST-20-2.0	5 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬鎢/鈹銅材質	5
ST-20-5.0	10 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬鎢/鈹銅材質	5
ST-20-10	20 微米	0.51mm	38mm/20mm	硬鎢/鈹銅材質	5

6、真空泵 日東工器VP0125
規格：
●電壓：AC220V
●流量：7L/min
●真空度：-60KPa
●質量：0.7Kg
功能
●提供真空動力源。
●配合 CHUCK上的真空吸附孔來固定樣品。
●配合真空吸附型探針座，固定探針座。
點
●無油靜音，別適合實驗室和潔凈室使用。
●7升/分鐘，可24小時無間斷運轉。
7、防震桌：韓大DVIO系列 規格說明
●尺寸：48”寬X36”長（120cm寬X90cm長）
●承重：200kg 防震效果
小承重 @ 20 psi 大承重 @ 80 psi
垂直本征頻率 1.9HZ 垂直本征頻率 1.5Hz
防震效率@ 5Hz 70% 防震效率@ 5Hz 85%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
水平本振頻率 2.2Hz 水平本振頻率 1.2Hz
防震效率@ 5Hz 64% 防震效率@ 5Hz 91%
防震效率@ 10Hz 90% 防震效率@ 10Hz 97%
8、屏蔽箱  
CINDBEST CB-6 參數和點
●尺寸：880mm寬x710mm長x1140mm
●屏蔽光線和電磁干擾。
●匹配探針臺和防震桌設計。
●與探針夾具配合可將測試電信號的漏電精度達到100fa ，可抗2000V壓。
●屏蔽箱上配備轉接頭，便于在關閉屏蔽箱時線路在箱內外的良好連接。
●上掀式結構，節約空間，操作便捷。
●可根據客戶需求定制。

CS-4探針臺的使用說明：
1、將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。
4、顯微鏡切換為倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
5、待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。
6、確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。

CS-4探針臺的常見故障：
當您使用本儀器時，可能會碰到些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法。

癥狀	可能原因	解決方法
移動樣品后畫面變模糊	顯微鏡不垂直	調垂直顯微鏡
	樣品臺不水平	調水平樣品臺
	樣品不平
顯微鏡視場亮度不足，邊緣切割或看不到像	轉換器不在定位位置上	把轉換器轉到定位位置上
	管鏡轉盤不在定位位置上	把管鏡轉盤轉到定位位置上
	照明的亮度不足	調節光源亮度或者把孔徑光欄孔調大
	沒有裝目鏡	裝上目鏡
	沒有裝物鏡	裝上物鏡
顯微鏡像質變差	目鏡臟 物鏡臟 管鏡臟	對目鏡，物鏡，管鏡臟的地方進行清潔
	孔徑光欄關的太大或者太小	調節孔徑光欄
	沒有調好焦	調節調焦手輪
	樣本上蓋有蓋玻片等介質	移開蓋玻片等介質
圖像邊清晰，邊模糊	樣本傾斜放置	放平樣本，或者調節樣品臺水平
	物鏡沒有旋緊	旋緊物鏡
眼睛容易疲勞	雙目頭的瞳距和操作者不匹配	調節雙目頭的瞳距
	目鏡視度調節不正確	調節目鏡視度
	照明亮度不合適	調節光源亮度或者孔徑光欄孔

CS-4探針臺的維護保養：
1、避免碰撞
●在安裝，操作CS探針臺時應避免碰撞，機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發生故障或異常異音。
2、儀器的運輸
●儀器運輸時，請先拔掉電源線插頭。
●儀器運輸應使用門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動部件。
3、儀器的存放
●使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機械精密部件，光學部件，電學接觸面污染，導致儀器精度降低。
●探針臺機體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器，以免發生故障或危險。
●探針臺光學部件清潔時，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時易燃物，注意使用安全。
●停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命.
●操作人員必須嚴格按要求操作，以保證數據的準確和儀器的正常使用。

CS-4探針臺的同類案例：
清華大學材料系，廈門大學，華僑大學，南京郵電大學，成都電子科技大學，中科院半導體所，中科院蘇州納米研究院，世紀晶圓，方正微電子等數十客戶。

CS-4探針臺的售后服務：

您留言咨詢的信息，系統會以短信、郵件、微信三種方式同時通知客戶。